高精度電容式位移測量儀

Accumeasure 系統9000是一款高解析度、電容式的儀器，替許多以前無法實現的量測應用找到了完美的解決方案，快速的響應時間與極低的雜訊使該產品成為客戶的理想選擇。該產品的應用如下：

．XY平面位置

．金屬板厚度

．半導體晶圓厚度

．旋轉軸與其他測量

AS-9000提供奈米級的解析度，能進行超高精度的量測，輕巧、簡單、快速上手，是位移量測的最佳工具。

．偏移/增益控制

．配備能與全球相容的電源

．積分總和放大器，用於輸出厚度

．三個0-10V的直流輸出孔

．2CH + 厚度

．條形圖顯示，也可選擇數位顯示

型號	AS-9000/1系統	AS-9000/2系統
料號	8000-4257	8000-4261
測量範圍	依據探頭
精度	0.02% FSR RMS
可量測的最近距離	25µm/ 1mil
中心位置	25mm (0.98 in.)
解析度	0.000075%/ √Hz FSR RMS
介面	類比
類型	1通道（SE）	2通道（SE）